德國 Pfeiffer 移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 上市！
ASM 39X 系列是針對大型檢漏部件設(shè)計(jì)研發(fā), 檢漏儀配有干式非接觸式真空泵和渦輪分子泵, 檢漏儀 ASM 392 內(nèi)置2臺(tái)渦輪分子泵, 可以加速泄漏檢測流程, 降低生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間, ASM 390, ASM 392 對氦氣的快速抽空能力和較短的響應(yīng)時(shí)間使其成為同類型檢漏儀中的佼者！移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢:
1. 強(qiáng)大的抽空能力
2. 短的測試時(shí)間
3. 大型彩色觸摸屏, 無需任何工具即可旋轉(zhuǎn)和拆卸
4. 符合人體工學(xué)設(shè)計(jì), 移動(dòng)性強(qiáng)
5. 符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)
上海伯東 Pfeiffer 移動(dòng)型檢漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術(shù)參數(shù)對比:
型號(hào) ASM 390 ASM 392 ASM 380
檢測氣體 4He, 3He, H2
小檢測漏率 真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍式: 1X10-8 mbar l/s
對氦氣的抽速 10 l/s 25 l/s, 內(nèi)置2臺(tái)分子泵 7 l/s
泵抽速 35 m3/h
進(jìn)氣口大壓力 20 mbar 20 mbar 15 mbar
無校準(zhǔn)的啟動(dòng)時(shí)間(20°C) 2 min 2 min < 4.5 min
進(jìn)氣口 DN 40 ISO-KF
響應(yīng)時(shí)間 < 1 s
Interface, 選配 RS-232, I/O, Ethernet
噪音 ≤ 55 dB (A) ≤ 55 dB (A) 53 dB (A)
重量 125 kg 130 kg 110 kg
尺寸(LxWxH) 1072 x 455 x 1025 mm 1072 x 455 x 1025 mm 1065 X 455 X 1025 mm
移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 應(yīng)用域: 可用于半導(dǎo)體和平板顯示器行業(yè)以及其他要求高的應(yīng)用
移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 目在售型號(hào):
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原創(chuàng)作者：北京愛歐德儀器設(shè)備有限公司
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