多功能數(shù)字式四探針多功能數(shù)字式方阻測(cè)試儀 數(shù)字式雙電測(cè)四探針測(cè)試儀型號(hào):AOD-FT-341多功能數(shù)字式方阻測(cè)試儀是運(yùn)用方形四探針Keywell測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量裝置,它與直線四探針相比,消除了探針游離對(duì)測(cè)試結(jié)果的不利影響,大大提高精度,并提高微區(qū)測(cè)試能力,
它可以測(cè)量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率,擴(kuò)散層的薄層電阻(亦稱(chēng)方塊電阻)。也可測(cè)柔性導(dǎo)電薄膜和玻璃等硬基底上導(dǎo)電膜的方塊電阻(簡(jiǎn)稱(chēng)方阻),換上四端子測(cè)試夾具,還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開(kāi)關(guān)類(lèi)接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。
本測(cè)試儀特贈(zèng)設(shè)測(cè)試結(jié)果分類(lèi)功能,大分類(lèi)10類(lèi)
儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤(pán)輸入;具有零位、滿度自校功能;自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程;測(cè)試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成,故定位準(zhǔn)、游移率小、壽命長(zhǎng);測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。
三、基本技術(shù)參數(shù)
1.測(cè)量范圍、分辨率
電 阻: 1.0×10-3~ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3~ 0.1×103 Ω
電 阻 率: 1.0×10-3~ 20.0×103Ω-cm 分辨率0.1×10-3~ 0.1×103 Ω-cm
方塊電阻: 1.0×10-3~ 20.0×103Ω/□ 分辨率1.0×10-3~ 0.1×103 Ω/□
2.可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸
直 徑: 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15~130mm,其他方式不限.
長(zhǎng)(或高)度: 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
3.量程劃分及誤差等級(jí)
量程 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 |
kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ |
誤差 | ±0.5%FSB±1LSB(在各量程范圍內(nèi)),超量程或欠量程可測(cè)量,但誤差將隨超欠程度而變大 |
4)工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W
5)外形尺寸:W×H×L=20cm×7.5cm×18cm
凈 重:≤1kg
更新時(shí)間:2024/11/5 9:23:21